應用一 高精度定位

1）高精度位移機構的定位傳感器，尤其是納米級定位。如封裝機中的位移機構，壓電陶瓷電機，音叉電機，納米位移臺等；

2）快速伺服機構的高精度定位，如機床的位移控制機構；

3）相對運動或相對位置的精確定位，重復定位；

4）靜力水準儀，用于大型設施高精度水平控制。

應用二 位移變形角度振動等測量

1）轉軸、位移臺等移動位移、直線度、平面度測量；

2）材料剛度、撓度、膨脹、變形等精密測量；

3）高精度角度傳感器或旋轉編碼器；

4）振動測量，如主動隔振系統、半導體制造平臺或晶圓片的微小振動、航天部件超高頻微小振動檢測等。

應用三 厚度檢測

1）油膜、水膜、絕緣層厚度；

2）零件、薄膜、光盤、磁性介質厚度；

3）剎車片厚度檢測（磨損檢測）；

應用四 旋轉機械間隙、跳動測量

1）軸心軌跡或跳動監測、如高精度電機主軸、機床主軸、硬盤驅動電機、軸承等；

2）發動機轉子軸向間隙、級間間隙、蓖齒間隙檢測；

3）發動機、轉子等裝配間隙檢測；

應用五 自動對焦或調零

1）天文望遠鏡等對焦對準或位移機構控制；

2）半導體加工過程光學鏡頭對焦或調零控制；

3）激光切割機或焊接機對準調零控制；

應用六 介電常數檢測

1)油液品質檢測；

2)非導電材料密度測量；

3)培養皿液面高度測量；

4)物料水份的測量；

5)絕緣層破損檢測；

6)塑料薄膜厚度檢測，鋰電池復合膜厚度檢測。

薄膜厚度測量

隨著薄膜厚度的變化，傳感器與金屬輥間的介電常數會發生變化，從而測出薄膜厚度的變化。

油膜厚度測量

隨著油膜厚度的變化，傳感器與活塞間的介電常數會發生變化，從而測出油膜厚度的變化。

晶圓厚度測量

軋鋼板厚度測量