nanoCDMS(非接觸電容位移傳感器)是基于平行板電容原理設計開發的，傳感器與被測物體各自等效為一個平板電極，通過激勵電路給傳感器一個穩定持續的激勵信號，激勵信號的幅值變化與電容到被測物體間的距離成正比。激勵信號經過精密解調電路解調，通過相應的算法得出電容與距離的比例關系。 

  電容C與有源傳感器表面A成正比，d是傳感器和目標表面之間的距離，?0是一個常數，?r是電容器極板之間材料的介電常數，一般為空氣。

C-電容

A-有源傳感器表面積

D-傳感器和目標表面之間的距離

?0-常數

?r-電容器極板之間材料的介電常數